半導體的關(guān)鍵性制程均需于干凈無(wú)塵的環(huán)境內進(jìn)行,半導體設備零件需要在高溫、真空且具有腐蝕性氣體的環(huán)境下使用。精密陶瓷材料在復雜的物理和化學(xué)環(huán)境下能保持高度的穩定性。
我公司生產(chǎn)的半導體陶瓷零部件,選用大于99.5%純度氧化鋁陶瓷,經(jīng)冷等靜壓成型、高溫燒結、精密加工和拋光而成。具有優(yōu)越的耐磨、耐腐蝕、低膨脹系數、絕緣等性能,可以很好的滿(mǎn)足半導體設備對零件的苛刻的要求。